邢莎莎

作品数：2被引量：19H指数：2
导出分析报告
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：测量方法透过率光刻照明照明模式更多>>
发文领域：电子电信理学机械工程更多>>
发文期刊：《光学学报》更多>>
所获基金：国家科技重大专项更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计被引量：12
《光学学报》2015年第11期94-103,共10页邢莎莎 冉英华 江海波 邢廷文 
国家科技重大专项(2012ZX02701)
光源掩膜协同优化是45 nm节点以下浸没式光刻提高分辨率的重要途径之一,为了重构其优化后输出的像素级光源,提出了一种基于可寻址二维微反射镜阵列的新型照明模式变换系统设计方法。分析了减少重构光源所需微反射镜数量的原理,结合成像...
关键词：成像系统 照明模式变换 自由照明光瞳 微反射镜阵列 光束整形 非球面复眼 
应用于投影光刻离轴照明的自由曲面设计被引量：7
《光学学报》2011年第3期229-234,共6页邢莎莎 吴仍茂 李海峰 郑臻荣 刘旭 
国家科技重大专项(2009ZX02202-002)资助课题
离轴照明是现代投影光刻中的一种重要的分辨率增强技术。针对不同的照明模式要求,提出了一种利用自由曲面来实现离轴照明的方法。根据入射面和目标面之间的坐标拓扑和能量守恒关系,利用数值求解法得出自相应的折射式自由曲面并对结果进...
关键词：光学设计 自由曲面 投影光刻 分辨率增强 照明 光束整形 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部