江海波

作品数：3被引量：18H指数：2
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：成像系统离轴照明复眼非球面光束整形更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《光学学报》《激光与光电子学进展》《光电工程》更多>>
所获基金：国家科技重大专项更多>>
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基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计被引量：12
《光学学报》2015年第11期94-103,共10页邢莎莎 冉英华 江海波 邢廷文 
国家科技重大专项(2012ZX02701)
光源掩膜协同优化是45 nm节点以下浸没式光刻提高分辨率的重要途径之一,为了重构其优化后输出的像素级光源,提出了一种基于可寻址二维微反射镜阵列的新型照明模式变换系统设计方法。分析了减少重构光源所需微反射镜数量的原理,结合成像...
关键词：成像系统 照明模式变换 自由照明光瞳 微反射镜阵列 光束整形 非球面复眼 
一种增大工艺窗口的光源优化方法被引量：2
《激光与光电子学进展》2015年第10期151-157,共7页江海波 邢廷文 
离轴照明(OAI)作为一种重要的分辨力增强技术(RET),不仅可以提高光刻分辨力,而且对焦深(DOF)也有一定程度的改善。针对特定的掩模图形,采用何种离轴照明模式能最大程度地改善光刻成像性能是主要研究的内容。通过优化设计的方法来获得最...
关键词：成像系统 光学光刻 离轴照明 光源优化 
非理想照明光瞳对光刻成像质量的影响被引量：4
《光电工程》2013年第2期87-92,共6页陈安 林妩媚 江海波 
通过PROLITH光刻仿真软件研究了非理想照明光瞳对光刻成像质量的影响以及图形位置偏移量对光瞳偏心的敏感度随数值孔径NA和相干因子σ的变化规律。仿真结果表明:在无像差的理想光学系统中,光瞳偏心主要影响图形的位置偏移量,图形的位置...
关键词：光刻仿真 非理想照明 光瞳偏心 离轴照明 
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