马晓君

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：仪器传递函数干涉仪光学元件功率谱密度更多>>
发文领域：机械工程更多>>
发文期刊：《中国激光》更多>>
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不同干涉仪检测光学元件功率谱密度的比较被引量：4
《中国激光》2016年第9期112-119,共8页杨相会 沈卫星 张雪洁 马晓君 
为了探究不同干涉仪对中频误差的响应规律,获得相对真实的功率谱密度(PSD)分布,分别利用4D AccuFiz、ZYGO DynaFiz以及ZYGO GPI三台干涉仪检测周期性波纹和划痕样品,并对一维实测PSD曲线进行对比分析。结果表明,不同干涉仪对中高频信息...
关键词：测量 功率谱密度 干涉仪 中频波面误差 仪器传递函数 
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