薄昌忠

作品数:1被引量:2H指数:1
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EBSD在InGaAsP/InP异质结构弹性应力区域的研究被引量:2
《武汉理工大学学报》2007年第E01期39-41,共3页范丽霞 卢卓宇 任峰 薄昌忠 付强 
国家自然科学基金项目(10375044,10435060)和教育部高等学校博士学科点专项科研项目(20050486054)
利用扫描电镜附件电子背散射衍射(Electron Backscattering Diffraction,EBSD)技术,用菊池花样质量(IQ)作为应力敏感参数,研究了InGaAsP/InP异质结构缓冲层和外延层界面处的应力分布。
关键词:电子背散射衍射(EBSD) 弹性应力区域 菊池花样质量(1Q) InGaAsP/InP异质结构 
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