史秀峰

作品数:1被引量:4H指数:1
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供职机构:北京理工大学机电学院更多>>
发文主题:尺寸优化MEMS加速度传感器MEMS加速度传感器有限元更多>>
发文领域:电子电信更多>>
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所获基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金国防基础科研计划更多>>
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一种高冲击MEMS加速度传感器的仿真与优化被引量:4
《计算机测量与控制》2015年第5期1831-1834,共4页侯帅 张振海 林然 张东红 李科杰 柳新宇 张亮 李治清 李剑 许涛 何昫 史秀峰 
国防基础科研项目(C××2011××03;A××2011××05;A××2013××10);国家自然科学基金面上项目(61273346);教育部博士点基金(20121101120009);北京理工大学"优青资助计划"项目(2012YG0203);基础研究基金项目(2014CX02031和2015CX×××××)
基于高冲击MEMS加速度传感器的冲击灵敏度、频率响应与敏感芯片的结构尺寸存在相互制约关系,提出在满足传感器结构强度和固有频率条件下,提高传感器冲击灵敏度的理论分析、仿真模拟与实验验证的方法;运用ANSYS软件对敏感芯片的弹性膜片...
关键词:高冲击 加速度传感器 MEMS 有限元 尺寸优化 
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