刘钢

作品数：3被引量：4H指数：1
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供职机构：天津大学电子信息工程学院更多>>
发文主题：干涉法傅里叶光学测量微结构补偿方法更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《光电子．激光》更多>>
所获基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家重点实验室开放基金更多>>
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基于傅里叶干涉法的微结构离面运动测量被引量：3
《光电子．激光》2007年第8期966-969,976,共5页胡晓东 齐浩 刘钢 胡春光 胡小唐 
国家自然基金资助项目(50505031);天津市重大科技资助项目(043185911);新世纪优秀人才支持计划资助项目
提出一种基于傅里叶变换的频闪显微干涉测试方法,对微谐振器和微悬臂梁的离面运动进行测试研究。微结构受激励产生周期离面运动,单个运动周期分解成若干运动相位,利用频闪照明获得不同运动相位的干涉图像,通过傅里叶变换计算出各自的包...
关键词：光学测量 离面运动 傅里叶变换法(FTM) 频闪显微干涉 
宽摆幅高速高精度级间增益放大器的优化设计
《天津大学学报》2007年第4期479-483,共5页赵毅强 刘钢 高静 
天津科技重点攻关资助项目(F305035)
为了满足1024×1024像素焦平面红外探测器高速采集系统中模数转换器的需求,采用0.35μm CMOS工艺技术,设计了12-bit、40-Msample/s的流水线模数转换器第一级的级间增益放大器.在传统两级运放的基础上,采用交叉耦合的AB类输出级和共源共...
关键词：运算跨导放大器 AB类输出级 共源共栅补偿 
微/纳结构表面3-D轮廓测量中倾斜误差的补偿方法被引量：1
《天津大学学报》2006年第10期1237-1240,共4页黄玉波 栗大超 胡小唐 刘钢 胡春光 张文栋 
国家自然科学基金重点资助项目(50535030);精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金资助项目
在对微/纳机电系统进行机械力学特性研究和可靠性测试时,经常需要获取结构的表面3-D轮廓.然而,使用显微干涉法测量微/纳结构的表面3-D轮廓通常会存在一定的倾斜误差,这种误差在某些应用中是不允许的.为了弥补传统的调平补偿方法的局限性...
关键词：微/纳机电系统 三维轮廓测量 调平 最小二乘法 坐标变换 
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