黄玉波

作品数：6被引量：24H指数：3
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供职机构：天津大学更多>>
发文主题：相移最小二乘法3-D曲率有限差分法更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>
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测量微悬臂梁曲率的相移显微干涉法被引量：6
《光学精密工程》2007年第9期1398-1403,共6页黄玉波 栗大超 胡小唐 傅星 张文栋 胡春光 
国家自然科学基金资助项目(No.50535030)
提出了一种基于显微干涉和有限差分法在微悬臂梁上实现曲率精确测量的方法。该方法将使用相移显微干涉法测得的微悬臂梁表面弯曲信息与用有限差分法解析的弯曲量进行对比,再运用拟牛顿算法或最小二乘法得到曲率的最佳匹配值。实验结果表...
关键词：显微干涉法 曲率测量 有限差分法 拟牛顿算法 最小二乘法 
基于原子力显微镜的纳米梁杨氏模量的测量被引量：9
《天津大学学报》2007年第7期816-820,共5页徐临燕 栗大超 胡小唐 黄玉波 
国家973"纳机电结构加工工艺的评价与表征方法研究"资助项目(G1999033109)
阐述了基于原子力显微镜(AFM)的弯曲测试测量纳米梁杨氏模量的理论和方法.重点解决了纳米梁杨氏模量测试技术中的3个关键问题:①宽梁条件下杨氏模量理论模型的修正;②纳米梁厚度的精密测量方法;③加载点位置相对于理想点的偏差给测试结...
关键词：纳机电系统 纳米梁 杨氏模量 原子力显微镜 弯曲测试 
微/纳结构表面3-D轮廓测量中倾斜误差的补偿方法被引量：1
《天津大学学报》2006年第10期1237-1240,共4页黄玉波 栗大超 胡小唐 刘钢 胡春光 张文栋 
国家自然科学基金重点资助项目(50535030);精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金资助项目
在对微/纳机电系统进行机械力学特性研究和可靠性测试时,经常需要获取结构的表面3-D轮廓.然而,使用显微干涉法测量微/纳结构的表面3-D轮廓通常会存在一定的倾斜误差,这种误差在某些应用中是不允许的.为了弥补传统的调平补偿方法的局限性...
关键词：微/纳机电系统 三维轮廓测量 调平 最小二乘法 坐标变换 
基于局部基底弯曲法的高灵敏度薄膜应力测试技术被引量：6
《Journal of Semiconductors》2006年第6期1129-1135,共7页王莎莎 陈兢 栗大超 黄玉波 李志宏 
国家自然科学基金资助项目(批准号:50535030)~~
针对MEMS(micro electro mechanicalsystem)和NEMS(nano electro mechanicalsystem)对薄膜应力测试的要求,开发了一种新型高灵敏度薄膜应力测试技术,使用自行搭建的准纳米光学干涉测试系统,利用局部基底弯曲来检测薄膜的内应力.该方法...
关键词：微机械系统 内应力 纳米级薄膜 基底弯曲法 光学干涉测量 
MEMS/NEMS表面3-D轮廓测量中基于模板的相位解包裹方法被引量：2
《传感技术学报》2006年第05A期1488-1492,共5页黄玉波 栗大超 胡小唐 胡春光 张文栋 徐临燕 
国家自然科学基金重点资助项目(50535030)
相位解包裹是使用相移显微干涉法测量MEMS/NEMS表面3-D轮廓时的重要步骤.本文针对普通的相位解包裹方法在复杂轮廓或包含非理想数据区的表面轮廓测量中的局限性,提出一种基于模板的广度优先搜索相位展开方法.通过模板的使用,先将非相容...
关键词：MEMS/NEMS 表面轮廓测量 模板 相位解包裹 边缘检测 
基于弯曲测试的纳米结构机械力学特性的表征被引量：1
《传感技术学报》2006年第05A期1493-1496,1499,共5页徐临燕 栗大超 胡小唐 张海霞 黄玉波 
国家重点基础研究发展计划(973)资助项目(G1999033109)
利用原子力显微镜对聚焦离子束刻蚀技术制备的不同纵横比的氮化硅纳米梁结构进行了弯曲测试,并讨论了一种标定原子力显微镜微悬臂梁弹簧常数的方法.实验中严格界定了欧拉细长梁的条件,在分析了纳米梁组纵横比对测试结果影响的基础上,讨...
关键词：弯曲测试 原子力显微镜 力学性能 平面模数 杨氏模量 聚焦离子束刻蚀 
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