刘景旺

作品数:1被引量:2H指数:1
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供职机构:北华航天工业学院更多>>
发文主题:交叠晶粒尺寸纳米SI晶粒脉冲激光烧蚀动力学更多>>
发文领域:理学更多>>
发文期刊:《河北大学学报(自然科学版)》更多>>
所获基金:河北省自然科学基金更多>>
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激光烧蚀过程中密度交叠区振荡稳定时间与晶粒尺寸均匀性的关系被引量:2
《河北大学学报(自然科学版)》2005年第5期478-481,共4页李艳丽 刘景旺 张荣梅 王英龙 
河北省自然科学基金资助项目(E2005000129500084)
在不同环境气体中,对脉冲激光烧蚀产生的Si粒子的输运过程进行了Monte Carlo动力学模拟,并实验研究了脉冲激光烧蚀制备纳米Si薄膜的晶粒尺寸分布.在理论分析和实验研究的基础上,讨论了纳米Si晶粒尺寸分布和烧蚀过程中出现的交叠区振荡...
关键词:脉冲激光烧蚀 动力学 纳米SI晶粒 尺寸分布 
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