张开瑞

作品数：2被引量：43H指数：2
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供职机构：中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室更多>>
发文主题：微机电系统MEMS纤毛矢量水声传感器硅更多>>
发文领域：理学交通运输工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
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纤毛式MEMS矢量水声传感器的仿生组装被引量：24
《纳米技术与精密工程》2009年第3期221-227,共7页张国军 陈尚 薛晨阳 张斌珍 张开瑞 
国家自然科学基金资助项目(50535030)
提出了一种纤毛式微机电系统(MEMS)矢量水声传感器的仿生组装技术.期望结合MEMS工艺和仿生组装工艺技术,解决复杂结构的仿生制造问题.文中简单介绍了仿生学理论以及定向探测机理.采用MEMS基硅微机械加工技术完成了传感器微结构的加工....
关键词：微机电系统 仿生组装 纤毛 矢量水声传感器 
压阻式硅微二维加速度计的加工与测试被引量：19
《纳米技术与精密工程》2008年第4期272-277,共6页陈尚 薛晨阳 张文栋 张斌珍 张国军 张开瑞 
国家自然科学基金资助项目(50535030;50775209)
提出了一种压阻式的硅微二维加速度计,该加速度计采用4个相互垂直的悬臂梁支撑中间有刚硬柱体的结构,利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量水平面内两个方向的加速度.结合微结构的力学分析模型以及压阻原理分析了加速度计的灵敏...
关键词：微机电系统 二维加速度计 压阻效应 高灵敏度 
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