王洁

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文主题：ZNO机电耦合系数蓝宝石结构声相速度更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《压电与声光》更多>>
所获基金：中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
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ZnO/蓝宝石结构声表面波滤波器试验研究被引量：2
《压电与声光》2015年第6期954-956,共3页董加和 陈运祥 冷俊林 张显洪 张永川 王岚 王洁 
总装预研基金资助项目(9140A23070312DZ3602)
该文从理论上计算得到了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构的声表面波相速度和机电耦合系数色散曲线。依据该色散曲线设计了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构声表面波滤波器。采用在蓝宝石衬底上先制备ZnO薄膜然后再制作芯片结构的方案研制出了声表面...
关键词：声表面波滤波器 蓝宝石 相速度 机电耦合系数 ZnO膜 
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