王志雄

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供职机构：上海工程技术大学材料工程学院更多>>
发文主题：硅薄膜半导体材料非晶硅薄膜激光晶化晶化率更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
发文期刊：《机械工程材料》更多>>
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采用固相晶化和准分子激光晶化制备结晶硅薄膜的对比
《机械工程材料》2014年第11期46-49,108,共5页王志雄 王欣 李霞霞 黄飞武 张霞 
上海市市级大学生创新训练资助项目(cs1305010);上海高校一流学科(培育)基金资助项目(YLJX12-2)
为制备高质量的结晶硅薄膜,以工业玻璃为衬底,利用等离子体增强化学气相沉积工艺制备了非晶硅(α-Si)薄膜,然后分别通过固相晶化和准分子激光晶化两种工艺制备结晶硅(nc-Si)薄膜,采用激光显微拉曼光谱仪、X射线衍射仪和扫描电子显微镜...
关键词：非晶硅薄膜 结晶硅薄膜 固相晶化 准分子激光晶化 结晶率 
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