云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 张益博

张益博: 作品数：1被引量：2H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：山东大学材料科学与工程学院材料液态结构及其遗传性教育部重点实验室更多>>; 发文主题：放电特性性能表征类金刚石薄膜膜工艺射频辉光放电更多>>; 发文领域：一般工业技术化学工程更多>>; 发文期刊：《金刚石与磨料磨具工程》更多>>; 所获基金：山东省自然科学基金国家自然科学基金更多>>

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射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法制备类金刚石碳膜工艺与性能表征被引量：2: 《金刚石与磨料磨具工程》2009年第5期7-12,共6页陈冲费振义亓永新曹宁张益博王风吕震李木森; 国家自然科学基金资助(50772060);山东省自然科学基金资助(Y2007F12);山东省博士后科研创新专项基金资助(200702024); 使用射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积技术(简称RFGDPECVD)在玻璃载玻片表面沉积类金刚石薄膜。用原子力显微镜(AFM)、摩擦试验仪、划痕试验机测定了其表面形貌、耐磨性及附着性。采用X射线光电子能谱(XPS)、分光光度计对两种气源(...; 关键词：射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜放电特性