汪娴

作品数：1被引量：5H指数：1
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供职机构：安徽大学物理与材料科学学院信息材料与器件安徽省重点实验室更多>>
发文主题：磁控溅射性能表征浸润性射频磁控溅射制备更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《安徽大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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射频磁控溅射制备CuAlO_2薄膜及性能表征被引量：5
《安徽大学学报（自然科学版）》2012年第3期13-18,共6页孙兆奇 汪娴 李俊磊 朱煜东 宋学萍 
国家自然科学基金资助项目(50642038;50872001;51072001);教育部留学回国人员科研专项基金资助项目
利用Al(OH)3和Cu2O高温固相反应烧结制备的靶材,采用射频磁控溅射法,在玻璃基片上制备非晶CuAlO2薄膜.薄膜的表面均匀,颗粒大小约为50 nm,可见光范围内透射率为60%,平均折射率达2.0,直接带隙为3.86 eV.随着在紫外光源下曝光时间的增加,...
关键词：CuAlO2薄膜 磁控溅射 浸润性 
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