张普

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：贵州大学理学院更多>>
发文主题：微机电系统读出电路微加热器电阻温度系数更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
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所获基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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一种微型Pt温度传感器及其读出电路的研究被引量：1
《半导体技术》2012年第6期464-469,共6页张普 傅兴华 王俊强 吴次南 刘泽文 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2007CB310500);国家自然科学基金项目(91023040)
基于电阻温度系数(TCR)原理及微机电系统技术,设计并制作了一种用于微型聚合酶链式反应(PCR)芯片的Pt温度传感器及其读出电路。利用溅射和剥离技术将厚度为100 nm的弯曲条形Pt传感器制作在硅衬底上。其长度和宽度分别为2 030μm和10μm...
关键词：微机电系统 聚合酶链式反应(PCR)芯片 Pt温度传感器 电阻温度系数 读出电路 
应用于微型PCR芯片的微加热器特性研究被引量：1
《半导体技术》2012年第6期442-447,455,共7页王俊强 吴次南 张普 郭藏燃 刘泽文 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2007CB310500)
设计制作了一种应用于微型聚合酶链式反应(PCR)芯片的微加热器。然后按照PCR循环温度的要求,利用该加热器进行了PCR温度实验。微加热器采用与MEMS工艺兼容的溅射方法在Si基上制作,微加热器材料为金属Pt。通过控制施加电压大小及时间,进...
关键词：微型PCR芯片 微机电系统 微加热器 Pt薄膜 对流 
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