程欣

作品数：1被引量：17H指数：1
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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
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平面面形绝对检验技术测量误差分析被引量：17
《中国激光》2011年第10期204-209,共6页徐洋 唐锋 王向朝 徐静浩 范李立 程欣 
国家自然科学基金重点项目(60938003)资助课题
绝对检验消除了参考面面形误差对干涉测量精度的制约,可实现纳米精度的面形测量。对现有主要平面面形绝对检验技术进行了总结比较,运用泽尼克多项式前36项构建被测平面,对边缘噪声、平面原始精度、旋转角度与偏心误差等因素对典型平面...
关键词：测量 干涉测量 绝对检验 奇偶函数法 旋转对称法 镜面对称法 
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