徐静浩

作品数：6被引量：58H指数：5
导出分析报告
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：宽光谱显微物镜衍射极限光学系统光谱仪更多>>
发文领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《中国激光》《激光与光电子学进展》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-6
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
100 kHz重复频率锡液滴靶研究被引量：2
《激光与光电子学进展》2023年第23期178-183,共6页孙海轶 王关德 李学红 彭凯伦 邹家杰 彭宇杰 王成 冷雨欣 徐静浩 范李立 袁丰华 李中梁 步扬 王天泽 张子怡 新刚 林楠 
国家科技部02专项(2018ZX02102-001);上海市科委项目(18DZ11125000,22S01807)。
锡液滴发生器是激光等离子体型极紫外(LPP-EUV)光刻光源中最重要的核心部件之一。光刻光源要求锡液滴靶具备高重复频率、小直径且稳定性好的特性。综述了中国科学院上海光学精密机械研究所EUV光源团队近年来在液滴发生器方面的研究进展...
关键词：极紫外 光刻光源 液滴发生器 锡液滴 
双孔点衍射干涉成像系统波像差检测技术研究被引量：6
《中国激光》2021年第9期105-112,共8页冯鹏 唐锋 王向朝 卢云君 徐静浩 郭福东 张国先 
提出了一种用于测量高精度成像系统的双孔点衍射干涉仪,具有高光场均匀性、高可测量数值孔径、准共光路、相移元件在系统成像光路以外的优点。设计了两种测量模式,点衍射测量模式和系统误差测量模式,其中系统误差模式用于标定干涉仪的...
关键词：测量 点衍射 针孔点衍射 波像差检测 干涉测量 
光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术被引量：5
《中国激光》2019年第10期252-259,共8页刘志帆 陈明 步扬 徐静浩 范李立 张建华 王向朝 
国家科技重大专项课题(2009ZX02205-001);广西高校光电信息处理重点实验室开放基金(KFJJ2016-03)
扫描狭缝是步进扫描光刻机用于控制曝光剂量的重要单元。随着光刻工艺节点减小到90 nm及以下,光刻照明分系统对刀口半影宽度的测量精度和重复性提出了更高要求。基于此,提出一种基于光瞳像的光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术。分析...
关键词：测量 光刻机 扫描狭缝 半影宽度 成像测量 光瞳 
基于光谱估计与多光谱技术的光学元件表面疵病检测被引量：13
《中国激光》2019年第9期153-161,共9页杨言若 步扬 徐静浩 王少卿 王向朝 李杰 
国家自然科学基金(61405210);国家科技重大专项(2009ZX02205-001,2016ZX02201-001);广西高校光电信息处理重点实验室开放基金(KFJJ2016-03)
为实现精密光学元件表面疵病的高效测量和精确统计,提出了一种基于光谱估计和多光谱技术的光学元件表面疵病检测方法。该方法利用光谱估计提取白光图像中不同波长的单光谱疵病图像,并合成多光谱疵病图像,然后采用优化后的OTSU(Otsu Imag...
关键词：测量 疵病检测 光谱估计 多光谱技术 疵病数量 疵病面积 
基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测被引量：17
《中国激光》2017年第1期198-207,共10页罗茂 步扬 徐静浩 王向朝 
国家自然科学基金(61205102;61275207;61405210;61474129)
为实现对光学元件表面疵病的精确测量和计数,提出了一种基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测方法,该方法采用不同波长的入射光源均匀照明光学元件表面,通过暗场显微成像系统获得不同波长下的表面疵病图像。基于该方法研制了多光谱光...
关键词：疵病检测 散射成像 多光谱 疵病数量 检测精度 
平面面形绝对检验技术测量误差分析被引量：17
《中国激光》2011年第10期204-209,共6页徐洋 唐锋 王向朝 徐静浩 范李立 程欣 
国家自然科学基金重点项目(60938003)资助课题
绝对检验消除了参考面面形误差对干涉测量精度的制约,可实现纳米精度的面形测量。对现有主要平面面形绝对检验技术进行了总结比较,运用泽尼克多项式前36项构建被测平面,对边缘噪声、平面原始精度、旋转角度与偏心误差等因素对典型平面...
关键词：测量 干涉测量 绝对检验 奇偶函数法 旋转对称法 镜面对称法 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部