云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 袁丰华

袁丰华: 作品数：1被引量：2H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>; 发文主题：液滴KHZ发生器光刻极紫外更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：《激光与光电子学进展》更多>>

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100 kHz重复频率锡液滴靶研究被引量：2: 《激光与光电子学进展》2023年第23期178-183,共6页孙海轶王关德李学红彭凯伦邹家杰彭宇杰王成冷雨欣徐静浩范李立袁丰华李中梁步扬王天泽张子怡新刚林楠; 国家科技部02专项(2018ZX02102-001);上海市科委项目(18DZ11125000,22S01807)。; 锡液滴发生器是激光等离子体型极紫外(LPP-EUV)光刻光源中最重要的核心部件之一。光刻光源要求锡液滴靶具备高重复频率、小直径且稳定性好的特性。综述了中国科学院上海光学精密机械研究所EUV光源团队近年来在液滴发生器方面的研究进展...; 关键词：极紫外光刻光源液滴发生器锡液滴