孙海轶

作品数：15被引量：46H指数：4
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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：飞秒激光飞秒飞秒激光脉冲液滴激光诱导更多>>
发文领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《无机材料学报》《激光与光电子学进展》《光学学报》《光子学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国科学院战略性先导科技专项更多>>
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超强超快激光物理与前沿应用
《中国激光》2024年第11期40-71,共32页吉亮亮 王文涛 田野 姚金平 郑颖辉 王铁军 王文鹏 白亚 林锦添 孙海轶 杜鹃 张辉 赵全忠 刘鹏 曾志男 梁晓燕 刘建胜 沈百飞 程亚 冷雨欣 李儒新 徐至展 
超强超快激光的出现与迅速发展开辟了原子分子物理、强场物理、等离子体物理等学科的诸多前沿方向,促进了物质科学、生命科学和信息能源等领域的创新发展。以超强超快激光的强度为尺标,首先介绍强激光驱动的非线性原子分子物理,其次是...
关键词：超快光学 超强超快激光 高次谐波 阿秒脉冲 激光粒子加速 激光驱动次级辐射源 强场量子电动力学 飞秒激光微纳加工 空气成丝 
100 kHz重复频率锡液滴靶研究被引量：2
《激光与光电子学进展》2023年第23期178-183,共6页孙海轶 王关德 李学红 彭凯伦 邹家杰 彭宇杰 王成 冷雨欣 徐静浩 范李立 袁丰华 李中梁 步扬 王天泽 张子怡 新刚 林楠 
国家科技部02专项(2018ZX02102-001);上海市科委项目(18DZ11125000,22S01807)。
锡液滴发生器是激光等离子体型极紫外(LPP-EUV)光刻光源中最重要的核心部件之一。光刻光源要求锡液滴靶具备高重复频率、小直径且稳定性好的特性。综述了中国科学院上海光学精密机械研究所EUV光源团队近年来在液滴发生器方面的研究进展...
关键词：极紫外 光刻光源 液滴发生器 锡液滴 
压电式高温液滴喷射元件研制被引量：1
《无机材料学报》2023年第8期987-988,共2页邹凯 张文斌 关胜 孙海轶 彭凯伦 邹家杰 李学红 王成 冷雨欣 梁瑞虹 周志勇 
上海市科委集成电路科技支撑专项项目(20501110100)。
极紫外(Extreme ultra-violet,EUV)光刻机光源主要采用激光产生等离子体技术,用高功率激光轰击锡液滴靶产生13.5 nm波长的EUV光。其中,基于逆压电效应的压电式高温锡液滴喷射元件是获取高重频高温锡液滴靶的关键部件。本项工作突破了耐...
关键词：极紫外光刻 微细压电陶瓷管 高温液滴发生器 高温压电陶瓷 
脉宽依赖的飞秒激光成丝钳制光强的研究被引量：3
《中国激光》2019年第9期30-36,共7页张旋 王铁军 郭豪 孙海轶 李儒新 
中国科学院战略性先导科技专项(B类)(XDB16010400),中国科学院国际合作重点项目(181231KYSB20160045)
研究了飞秒激光成丝过程中钳制光强对脉宽的依赖关系。对不同脉宽成丝钳制光强进行直接实验测量,发现当脉宽逐渐展宽(由45 fs展宽至177 fs)时,对应的钳制光强逐渐减小。实验结论与通过求解非线性薛定谔方程得到的数值模拟结果一致。依...
关键词：激光器 飞秒现象 飞秒激光成丝 钳制光强 啁啾 
飞秒激光人工影响天气的物理机理及研究进展被引量：7
《中国激光》2019年第5期38-52,共15页鞠晶晶 刘建胜 孙海轶 李儒新 See Leang Chin 徐至展 
国家重点基础研究发展计划(2011CB808100);国家自然科学基金(11425418,61475167);中国科学院战略性科技先导专项(B类)(XDB16)
综述了飞秒激光人工影响天气的相关研究结果。从飞秒激光成丝产生的光氧化副产物、热沉积效应、气溶胶形成和水凝结及沉降过程等4个方面展开,综述了飞秒激光在诱导水凝结及降水、人工引雷等领域的研究进展。提出了飞秒激光人工影响环境...
关键词：非线性光学 飞秒光丝 光化学反应 气溶胶 水凝结 
飞秒激光诱导0.3～2.0μm气溶胶的生成被引量：2
《中国激光》2019年第3期226-235,共10页胡兴凯 鞠晶晶 李儒新 孙海轶 刘永宏 王成 邓兆泽 冉靓 刘建胜 陈瑞良 徐至展 
国家重点基础研究发展计划(2011CB808100);国家自然科学基金(11425418;61475167);中国科学院战略性科技先导专项(B类)(XDB160104)
在室温条件下的小型云室中,研究了不同参数对飞秒激光诱导较大尺寸气溶胶生成的影响。实验结果表明,在亚饱和条件下,随着环境相对湿度的提高,不同尺寸气溶胶的数密度增大,尺寸分布以0.3～0.5μm为主;当环境相对湿度达到近饱和条件时,较...
关键词：超快光学 非线性光学 飞秒光丝 气溶胶 光化学反应 
飞秒激光在铌酸锂内部的电光集成
《激光与光电子学进展》2009年第2期21-21,共1页廖洋 徐剑 孙海轶 程亚 徐至展 
国家重点基础研究项目(2006CB806000)资助课题
近年来，飞秒激光南于其超快时间特性和超高峰值功率特性在精密微纳加工领域引起了人们极大的兴趣。利用飞秒激光在透明材料内部实现微光学、微电子、微流体等多功能的集成得到越来越多的重视.
关键词：飞秒激光 光集成 铌酸锂 微纳加工 功率特性 时间特性 透明材料 微光学 
飞秒激光脉冲作用下氧化镁的烧蚀及其超快动力学过程被引量：4
《光子学报》2006年第8期1126-1129,共4页徐世珍 贾天卿 徐至展 李晓溪 冯东海 孙海轶 李成斌 王晓峰 
国家自然科学基金资助(No.60108002)
研究了双面抛光氧化镁单晶(111)表面800nm飞秒激光单脉冲烧蚀阈值和激光脉宽的依赖关系.利用泵浦-探针技术,测量不同能量和脉宽作用下飞秒激光烧蚀的时间分辨反射率的演化.通过扫描电镜观察其烧蚀形貌,发现大量的沿氧化镁[100]晶向开裂...
关键词：飞秒激光脉冲 烧蚀 氧化镁 超快动力学 
飞秒激光对高反膜的破坏及其超快动力学过程被引量：5
《光学学报》2006年第3期458-462,共5页李成斌 贾天卿 孙海轶 李晓溪 徐世珍 冯东海 王晓峰 徐至展 
国家自然科学基金(60108002)资助课题
研究了800nm飞秒激光照射下45°高反膜ZrO2-Si O2的破坏及其超快动力学过程。利用原子力显微镜和扫描电镜观察了材料的烧蚀形貌,测量了破坏阈值与脉冲宽度、烧蚀深度与脉冲能量的依赖关系。随着脉冲宽度从50fs增加到900fs,其烧蚀阈值从0...
关键词：薄膜光学 45°高反膜 超快动力学 飞秒激光 烧蚀阈值 烧蚀深度 
飞秒激光对氟化镁烧蚀机理研究被引量：6
《物理学报》2006年第1期217-220,共4页李成斌 贾天卿 孙海轶 李晓溪 徐世珍 冯东海 王晓峰 葛晓春 徐至展 
国家重点基础研究发展规划项目(批准号:G1999075200)资助的课题~~
用扫描电镜(SEM)研究了氟化镁在800nm超短脉冲激光作用下的单枪表面烧蚀形貌.根据烧蚀斑面积与激光脉冲能量间的对数关系,测得烧蚀阈值与激光脉宽的关系曲线(55—750fs).计算了导带电子的双光子吸收,改进了多速率方程模型,很好地解释了...
关键词：飞秒激光 氟化镁 烧蚀机理 双光子吸收 
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