范李立

作品数：5被引量：43H指数：4
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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：光学元件压簧拉簧轮转启停更多>>
发文领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《光学学报》《中国激光》《激光与光电子学进展》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
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100 kHz重复频率锡液滴靶研究被引量：2
《激光与光电子学进展》2023年第23期178-183,共6页孙海轶 王关德 李学红 彭凯伦 邹家杰 彭宇杰 王成 冷雨欣 徐静浩 范李立 袁丰华 李中梁 步扬 王天泽 张子怡 新刚 林楠 
国家科技部02专项(2018ZX02102-001);上海市科委项目(18DZ11125000,22S01807)。
锡液滴发生器是激光等离子体型极紫外(LPP-EUV)光刻光源中最重要的核心部件之一。光刻光源要求锡液滴靶具备高重复频率、小直径且稳定性好的特性。综述了中国科学院上海光学精密机械研究所EUV光源团队近年来在液滴发生器方面的研究进展...
关键词：极紫外 光刻光源 液滴发生器 锡液滴 
光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术被引量：5
《中国激光》2019年第10期252-259,共8页刘志帆 陈明 步扬 徐静浩 范李立 张建华 王向朝 
国家科技重大专项课题(2009ZX02205-001);广西高校光电信息处理重点实验室开放基金(KFJJ2016-03)
扫描狭缝是步进扫描光刻机用于控制曝光剂量的重要单元。随着光刻工艺节点减小到90 nm及以下,光刻照明分系统对刀口半影宽度的测量精度和重复性提出了更高要求。基于此,提出一种基于光瞳像的光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术。分析...
关键词：测量 光刻机 扫描狭缝 半影宽度 成像测量 光瞳 
旋转波片法偏振检测装置器件参数校准被引量：10
《光学学报》2013年第9期166-171,共6页汤飞龙 李中梁 步扬 王向朝 范李立 王瑄 曹绍谦 
国家自然科学基金(60938003;61205102;61275207);科技部国际科技合作专项(2011DFR10010)
波片相位延迟量误差、快轴角度误差和检偏器透光轴角度误差是影响基于旋转波片法的偏振检测装置测量精度的主要因素。通过对波片和检偏器参数进行校准,可有效提高检测装置测量精度。针对现有校准方法操作复杂的不足,提出一种偏振检测装...
关键词：测量 偏振检测 校准 器件参数 斯托克斯参量 旋转波片法 
一种提高偏振光斯托克斯参量测量精度的方法被引量：14
《中国激光》2013年第4期194-200,共7页汤飞龙 李中梁 步扬 王向朝 范李立 曹绍谦 
国家自然科学基金(60938003;61205102;61275207);科技部国际科技合作专项项目(2011DFR10010)资助课题
波片相位延迟量误差是影响旋转波片法斯托克斯(Stokes)参量测量精度的主要因素。通过对传统旋转波片法测量Stokes参量的原理进行理论分析,研究了测量误差与相位延迟量误差之间关系,提出了提高偏振光Stokes参量测量精度的方法。该方法通...
关键词：测量 偏振检测 Stokes参量 相位延迟量误差 旋转波片法 
平面面形绝对检验技术测量误差分析被引量：17
《中国激光》2011年第10期204-209,共6页徐洋 唐锋 王向朝 徐静浩 范李立 程欣 
国家自然科学基金重点项目(60938003)资助课题
绝对检验消除了参考面面形误差对干涉测量精度的制约,可实现纳米精度的面形测量。对现有主要平面面形绝对检验技术进行了总结比较,运用泽尼克多项式前36项构建被测平面,对边缘噪声、平面原始精度、旋转角度与偏心误差等因素对典型平面...
关键词：测量 干涉测量 绝对检验 奇偶函数法 旋转对称法 镜面对称法 
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