李义峰

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供职机构:北京科技大学新材料技术研究院更多>>
发文主题:MPCVDKA波段拉曼光谱金刚石膜介电性能更多>>
发文领域:化学工程更多>>
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MPCVD金刚石膜的品质对其在K-Ka波段微波介电性能的影响
《电子元件与材料》2017年第4期32-36,共5页刘艳青 丁明辉 苏静杰 李义峰 唐伟忠 
国家磁约束核聚变能专项资助(No.2013GB110003)
针对MPCVD金刚石膜K-Ka波段(18~40 GHz)微波电子器件领域的应用需求,以及探索金刚石膜介电性能与品质之间的关系的需要,制备了5个金刚石膜样品,并建立了一套K波段分体圆柱谐振腔微波介电性能测试装置。使用Raman光谱表征金刚石膜质量,...
关键词:MPCVD金刚石膜 拉曼光谱 品质 分体圆柱谐振腔 介电性能 K-Ka波段 
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