苏静杰

作品数：5被引量：26H指数：4
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供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
发文主题：金刚石膜高功率MPCVD谐振腔金刚石更多>>
发文领域：化学工程一般工业技术理学电子电信更多>>
发文期刊：《中国材料进展》《无机材料学报》《电子元件与材料》《人工晶体学报》更多>>
所获基金：国际科技合作与交流专项项目国家自然科学基金更多>>
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MPCVD金刚石膜的品质对其在K-Ka波段微波介电性能的影响
《电子元件与材料》2017年第4期32-36,共5页刘艳青 丁明辉 苏静杰 李义峰 唐伟忠 
国家磁约束核聚变能专项资助(No.2013GB110003)
针对MPCVD金刚石膜K-Ka波段(18～40 GHz)微波电子器件领域的应用需求,以及探索金刚石膜介电性能与品质之间的关系的需要,制备了5个金刚石膜样品,并建立了一套K波段分体圆柱谐振腔微波介电性能测试装置。使用Raman光谱表征金刚石膜质量,...
关键词：MPCVD金刚石膜 拉曼光谱 品质 分体圆柱谐振腔 介电性能 K-Ka波段 
环形天线-椭球谐振腔式MPCVD装置高功率下沉积高品质金刚石膜被引量：7
《人工晶体学报》2016年第8期2028-2033,共6页李义锋 唐伟忠 苏静杰 安晓明 刘晓晨 姜龙 孙振路 
介绍了自行研制的环形天线-椭球谐振腔式高功率MPCVD装置的结构特点,展示并研究了新装置在高功率条件下的放电特性。在10.5 k W的高微波输入功率下成功制备了直径50 mm,厚度接近1 mm的高品质自支撑金刚石膜。在真空泄漏速率约2.5×10^(-...
关键词：金刚石膜 化学气相沉积 高功率 氮杂质 椭球谐振腔 
分体圆柱谐振腔法用于金刚石膜微波介电性能测试的研究被引量：4
《无机材料学报》2015年第7期751-756,共6页苏静杰 杨梓 李义锋 唐伟忠 安晓明 郭辉 
针对金刚石膜微波介电损耗低、厚度薄带来的微波介电性能测试难点,研制了一台分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置。利用不同直径的蓝宝石单晶样品,用上述装置对低损耗薄膜类样品微波介电性能的测试能力及样品直径对测试结果的影响进...
关键词：微波介电性能 分体圆柱谐振腔 金刚石膜 
偏压加强MPCVD法Ir(100)/MgO(100)基片上金刚石异质外延形核被引量：4
《人工晶体学报》2015年第4期896-901,共6页李义锋 佘建民 苏静杰 唐伟忠 李效民 徐小科 
中俄国际合作专项(2010DFR50360)
利用自行研制的可调谐圆柱谐振腔式微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）装置的结构优势,设计了电极可调节的偏压加强MPCVD装置。采用脉冲激光沉积（PLD）法制备了Ir（100）/MgO（100）基片。采用偏压加强MPCVD装置进行了金刚石异质外延...
关键词：金刚石 异质外延 化学气相沉积 微波等离子体 偏压加强 
高品质金刚石膜微波等离子体CVD技术的发展现状被引量：12
《中国材料进展》2012年第8期33-39,共7页唐伟忠 于盛旺 范朋伟 李义锋 苏静杰 刘艳青 
国家自然科学基金(10675017);国际科技合作项目(2010DFR50130)
金刚石膜拥有许多优异的性能。在制备金刚石膜的各种方法之中,高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法因其产生的等离子体密度高,同时金刚石膜沉积过程的可控性和洁净性好,因而一直是制备高品质金刚石膜的首选方法。在世界范围内,美...
关键词：MPCVD金刚石膜沉积技术 高品质金刚石膜 
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