范朋伟

作品数：4被引量：24H指数：4
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供职机构：北京科技大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：金刚石膜MPCVD高功率生长速率厚膜更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊：《人工晶体学报》《中国材料进展》《功能材料》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国际科技合作与交流专项项目更多>>
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高品质金刚石膜微波等离子体CVD技术的发展现状被引量：12
《中国材料进展》2012年第8期33-39,共7页唐伟忠 于盛旺 范朋伟 李义锋 苏静杰 刘艳青 
国家自然科学基金(10675017);国际科技合作项目(2010DFR50130)
金刚石膜拥有许多优异的性能。在制备金刚石膜的各种方法之中,高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法因其产生的等离子体密度高,同时金刚石膜沉积过程的可控性和洁净性好,因而一直是制备高品质金刚石膜的首选方法。在世界范围内,美...
关键词：MPCVD金刚石膜沉积技术 高品质金刚石膜 
新型MPCVD装置在高功率密度下高速沉积金刚石膜被引量：9
《功能材料》2011年第9期1722-1726,共5页于盛旺 李晓静 张思凯 范朋伟 黑鸿君 唐伟忠 吕反修 
国家自然科学基金资助项目(10675017)
使用自行研制的新型MPCVD装置,以H2-CH4为气源,在输入功率为5kW,沉积压力分别为13.33、26.66kPa和不同的甲烷浓度下制备了金刚石膜。利用等离子体发射光谱法对等离子体中的H原子和含碳的活性基团浓度进行了分析。用扫描电镜、激光拉曼...
关键词：新型MPCVD装置 金刚石膜 功率密度 生长速率 
椭球谐振腔式MPCVD装置高功率下大面积金刚石膜的沉积被引量：6
《人工晶体学报》2011年第5期1145-1149,共5页于盛旺 范朋伟 李义锋 刘艳青 唐伟忠 
国家自然科学基金(10675017)
使用自行研制的椭球谐振腔式MPCVD装置,以H2-CH4为气源,在输入功率为9 kW,沉积压力为1.7×104 Pa和不同的气体流量条件下制备了金刚石膜。利用扫描电镜、激光拉曼谱对金刚石膜的表面和断口形貌、金刚石膜的品质等进行了表征。实验结果表...
关键词：椭球谐振腔式MPCVD装置 金刚石膜 高功率 气体流量 生长速率 
不同压力下硬质合金表面微波等离子体化学气相沉积SiC涂层规律性的研究被引量：4
《人工晶体学报》2011年第4期876-881,共6页于盛旺 黑鸿君 胡浩林 范朋伟 张思凯 唐伟忠 吕反修 
省部产学研合作专项资金计划项目(2009A090100030)
以氢气和四甲基硅烷作为先驱气体,采用微波等离子体化学气相沉积法,不同沉积压力条件下、在YG6硬质合金表面制备了的SiC涂层。利用SEM、EDS、XRD、划痕测试法对SiC涂层的表面形貌、相组成和附着力进行了分析。实验结果表明,在较低的压力...
关键词：SIC涂层 硬质合金 沉积压力 金刚石涂层 
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