胡浩林

作品数：3被引量：4H指数：1
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供职机构：北京科技大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：SIC涂层金刚石涂层微波等离子体化学气相沉积硬质合金表面硬质合金更多>>
发文领域：理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《功能材料》《人工晶体学报》《真空》更多>>
所获基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
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富氮MeN_x(Me=Ti,Zr,Hf)薄膜的结构与红外光学性能
《功能材料》2011年第5期785-787,792,共4页许恒志 唐伟忠 于盛旺 胡浩林 惠大圣 吕反修 
国家自然科学基金资助项目(10675017)
用射频反应磁控溅射方法制备了MeNx(Me=Ti、Zr、Hf)薄膜,研究了在富N2条件下不同的N2/Ar流量比对薄膜结构和光学性能的影响。掠角X射线衍射的分析结果表明,所制得的富氮的TiNx薄膜主要由TiN所组成,而富氮的ZrNx、HfNx薄膜则具有非晶态...
关键词：磁控溅射 红外波段 透过率 保护膜 
不同压力下硬质合金表面微波等离子体化学气相沉积SiC涂层规律性的研究被引量：4
《人工晶体学报》2011年第4期876-881,共6页于盛旺 黑鸿君 胡浩林 范朋伟 张思凯 唐伟忠 吕反修 
省部产学研合作专项资金计划项目(2009A090100030)
以氢气和四甲基硅烷作为先驱气体,采用微波等离子体化学气相沉积法,不同沉积压力条件下、在YG6硬质合金表面制备了的SiC涂层。利用SEM、EDS、XRD、划痕测试法对SiC涂层的表面形貌、相组成和附着力进行了分析。实验结果表明,在较低的压力...
关键词：SIC涂层 硬质合金 沉积压力 金刚石涂层 
一种用于金刚石膜沉积装置的重入式微波谐振腔
《真空》2010年第5期9-12,共4页李晓静 唐伟忠 高春雨 于盛旺 许恒志 胡浩林 
高等学校博士学科点专项科研基金资助课题(No.20060008013)
微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)是制备高品质金刚石膜的重要方法,而MPCVD技术的关键是其设备核心部件谐振腔的设计。本文基于目前广泛应用的圆柱式和椭球式两种MPCVD谐振腔中微波传输的特点和其各自的优点,提出了一种重入式微波谐...
关键词：重入式谐振腔 数值模拟 电场分布 金刚石膜 
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