许恒志

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富氮MeN_x(Me=Ti,Zr,Hf)薄膜的结构与红外光学性能
《功能材料》2011年第5期785-787,792,共4页许恒志 唐伟忠 于盛旺 胡浩林 惠大圣 吕反修 
国家自然科学基金资助项目(10675017)
用射频反应磁控溅射方法制备了MeNx(Me=Ti、Zr、Hf)薄膜,研究了在富N2条件下不同的N2/Ar流量比对薄膜结构和光学性能的影响。掠角X射线衍射的分析结果表明,所制得的富氮的TiNx薄膜主要由TiN所组成,而富氮的ZrNx、HfNx薄膜则具有非晶态...
关键词：磁控溅射 红外波段 透过率 保护膜 
一种用于金刚石膜沉积装置的重入式微波谐振腔
《真空》2010年第5期9-12,共4页李晓静 唐伟忠 高春雨 于盛旺 许恒志 胡浩林 
高等学校博士学科点专项科研基金资助课题(No.20060008013)
微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)是制备高品质金刚石膜的重要方法,而MPCVD技术的关键是其设备核心部件谐振腔的设计。本文基于目前广泛应用的圆柱式和椭球式两种MPCVD谐振腔中微波传输的特点和其各自的优点,提出了一种重入式微波谐...
关键词：重入式谐振腔 数值模拟 电场分布 金刚石膜 
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