刘良保

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室更多>>
发文主题：大尺寸残余物衍射光栅辉光放电灰化更多>>
发文领域：理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《真空》更多>>
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用于大尺寸衍射光栅的光刻胶残余物的灰化系统研制被引量：4
《真空》2008年第3期25-27,共3页洪义麟 刘良保 周小为 徐向东 付绍军 
国家高技术863技术资助
在制作大尺寸厚基底衍射光学元件时,经常需要清除残余底胶,为此我们研制了大尺寸衍射光栅灰化装置.该装置可以在450 mm×450 mm(Ф650 mm)范围内产生均匀性良好的等离子体,通过气体辉光放电来达到去残胶的目的,辉光放电速率可通过调节...
关键词：大尺寸 衍射光栅 辉光放电 灰化 
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