熊莉娜

作品数：1被引量：3H指数：1
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发文主题：酚醛树脂光致抗蚀剂两步法合成更多>>
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两步法合成正性光致抗蚀剂用酚醛树脂的研究被引量：3
《化工技术与开发》2008年第6期4-7,共4页宛盼盼 佘亚萍 吕兴军 佘湘平 熊莉娜 
第一步在甲醛过量的条件下合成2,6-双羟甲基对甲酚预聚体;第二步在无甲醛条件下,通过调节摩尔比、反应时间等实验条件,合成出结构交替的光致抗蚀剂用酚醛树脂。
关键词：光致抗蚀剂 酚醛树脂 结构交替 
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