杨斐

作品数：1被引量：9H指数：1
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ZnO薄膜的制备方法、性质和应用被引量：9
《真空》2008年第5期54-61,共8页王光伟 张建民 郑宏兴 杨斐 
天津市高校科技发展基金项目(No.20060605)。
介绍了宽禁带半导体ZnO薄膜的制备工艺、主要性质和器件应用等几方面内容。ZnO薄膜的制备方法大致分为物理法和化学法。前者主要包括溅射、脉冲激光沉积和分子束外延等;后者则涵盖化学气相沉积、喷雾热解和溶胶-凝胶法等。从晶体结构、...
关键词：ZNO薄膜 制备工艺 光电特性 光电器件 
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