杜娟

作品数：1被引量：2H指数：1
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高温氩退火对直拉CZ硅单晶中空洞型微缺陷的影响被引量：2
《稀有金属》2012年第1期120-123,共4页李宗峰 周旗钢 何自强 冯泉林 杜娟 刘斌 
国家科技重大专项项目(2008ZX02401)资助
研究了高温氩退火对大直径直拉硅单晶中晶体原生粒子缺陷(COP)的消除作用。分别在不同温度和保温时间下进行退火,然后利用表面扫描检测系统SPI测量退火前后硅片表面COP的密度变化,来表征退火对COP的消除作用。研究发现,在1200℃退火2 h...
关键词：直拉硅单晶 大直径 空洞型微缺陷 晶体原生粒子缺陷 高温退火 
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