刘雯雯

作品数：1被引量：0H指数：0
导出分析报告
供职机构：南京航空航天大学航空宇航学院更多>>
发文主题：计量学微机电系统手机芯片三维形貌更多>>
发文领域：一般工业技术机械工程更多>>
发文期刊：《计量学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
显微干涉法在MEMS结构三维形貌测试中的应用
《计量学报》2009年第4期302-306,共5页孙伟 刘雯雯 康新 何小元 
国家自然科学基金(10772086,10727201);国家重点基础研究专项经费(2006CB300404)
鉴于三维形貌在微机电系统(MEMS)测试领域的重要地位及显微干涉法在光学计量领域的高精度性能,开展了显微干涉法在MEMS结构三维形貌测试中的应用研究.基于小波变换极高的去噪性能及处理无载波条纹的优点,包裹相位采用连续小波变换的方...
关键词：计量学 显微干涉法 微机电系统 三维形貌 微梁 手机芯片 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部