滕旭

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：清华大学材料科学与工程系更多>>
发文主题：CU膜PET结合力氩离子更多>>
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氩离子注入PET表面沉积Cu膜的界面特性被引量：1
《黑龙江大学自然科学学报》2010年第6期723-726,共4页滕旭 张济忠 冉杰 
清华大学实验室开放基金资助项目
为了研究Ar离子注入对薄膜沉积的影响,使用2 keV的氩离子对PET进行表面注入,注入剂量为5×1011ions.cm-2,然后用离子溅射镀膜法,在PET表面均匀地沉积一层Cu膜,用台阶仪、俄歇探针、原子力显微镜等对其进行测试分析。结果表明,该合金膜...
关键词：PET 氩离子 溅射镀膜 CU膜 结合力 
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