成浩

作品数：2被引量：6H指数：1
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供职机构：中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所更多>>
发文主题：SUB四甲基氢氧化铵插层高水基纳米片更多>>
发文领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
发文期刊：《中国表面工程》更多>>
所获基金：浙江省科技攻关计划宁波市自然科学基金更多>>
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占空比对中频磁控溅射(Al,Ti)N周期性多层膜组织与性能的影响
《中国表面工程》2011年第6期47-52,F0003,共7页孙丽丽 杨会生 成浩 汪爱英 
浙江省宁波市自然科学基金项目(2009A610034)
采用LABVIEW软件控制N2气体流量,辅助中频磁控溅射制备不同占空比的(Al,Ti)N周期性多层膜,分别利用X射线衍射仪、场发射扫描电镜、纳米硬度仪研究了(Al,Ti)N周期性多层膜的组织结构和力学性能,研究表明:不同占空比下的薄膜只存在面心立...
关键词：LABVIEW多层膜 中频磁控溅射 硬度 择优取向 
阴极电弧制备TiAlN薄膜工艺参数的正交分析研究被引量：6
《中国表面工程》2011年第2期41-45,共5页陈锋光 孙丽丽 成浩 柯培玲 汪爱英 
宁波市自然学基金项目资助(2009A610034);浙江省重点科技攻关项目(2009C11123)
为深入理解不同工艺参数对阴极电弧制备TiAlN薄膜性质的影响重要性,文中设计了L9(34)正交试验表,研究了基体负偏压、N2流量、阴极弧流对TiAlN沉积速率、表面粗糙度的影响,给出了工艺参数优化组合。结果表明:负偏压对TiAlN薄膜的沉积速...
关键词：正交分析 TIALN 阴极电弧离子镀 沉积速率 表面粗糙度 
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