张志威

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：厦门大学物理与机电工程学院物理学系更多>>
发文主题：KRFTIO_2薄膜光学特性激光技术脉冲激光更多>>
发文领域：一般工业技术更多>>
发文期刊：《量子电子学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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KrF脉冲激光退火制备锐钛矿TiO_2薄膜被引量：1
《量子电子学报》2015年第6期673-677,共5页张自锋 张志威 洪荣墩 陈厦平 吴正云 
国家自然科学基金资助项目(61176049;61307047)
在常温下,用射频磁控溅射在石英衬底上沉积厚度约为200 nm的TiO_2薄膜,使用波长为248 nm的KrF脉冲激光器,在不同功率密度下对薄膜样品进行辐照退火处理,并采用X射线衍射(XRD)、拉曼(Raman)、X射线电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)、扫...
关键词：激光技术 KrF脉冲激光 薄膜 TiO2 光学特性 
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