云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 余艾冰

余艾冰: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：莫纳什大学更多>>; 发文主题：MLCCBATIOAG激光刻蚀图案化更多>>; 发文领域：金属学及工艺更多>>; 发文期刊：《应用激光》更多>>; 所获基金：中国博士后科学基金航天科技创新基金广西信息材料重点实验室主任基金国家自然科学基金更多>>

检索结果分析

共条记录，以下是1-1

全选清除导出

视图：

排序：

Ag/BaTiO_3薄膜的激光刻蚀电极图案制备及性能研究: 《应用激光》2016年第4期428-433,共6页王盼徐华蕊朱归胜李瑾瑾付振哓余艾冰; 国家自然科学基金资助项目(项目编号:61540073);中国博士后科学基金资助项目;广西信息材料重点实验室基金资助项目(项目编号:161014-Z);广西科学研究与技术开发计划资助项目(项目编号:桂科攻1598007-9);中国航天科技集团公司航天科技创新基金资助项目(项目编号:KJ2014-006); 采用激光刻蚀实现了BaTiO_3薄膜上溅射Ag金属薄膜电极的图案化,并对激光刻蚀功率、激光刻蚀线间距以及点间距对图案微槽深度、刻蚀边缘整齐度和对底层BaTiO_3的影响进行了研究。结果表明,图案刻蚀边缘整齐度随刻蚀功率先增大后减小,激...; 关键词：MLCC 激光刻蚀图案化