王盼

作品数：3被引量：3H指数：1
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供职机构：桂林电子科技大学更多>>
发文主题：BATIO堇青石微晶玻璃热膨胀系数衬底介质薄膜更多>>
发文领域：一般工业技术电气工程电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊：《桂林电子科技大学学报》《电工材料》《应用激光》更多>>
所获基金：中国博士后科学基金广西信息材料重点实验室主任基金国家自然科学基金航天科技创新基金更多>>
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溶胶-凝胶法制备无衬底BaTiO_3介质薄膜及其结构与性能被引量：1
《桂林电子科技大学学报》2017年第4期327-331,共5页李瑾瑾 朱归胜 徐华蕊 王盼 
国家自然科学基金(61540073);中国博士后基金(2015M580781);广西自然科学基金(2016GXNSFAA380053);广西信息材料重点实验室基金(161014-Z)
为了进一步减小芯片用嵌入式电容的体积,实现电容器的薄型化与小型化,采用溶胶-凝胶法在可热解衬底上制备了无衬底BaTiO_3薄膜,实现了薄膜的剥离与转移,并利用XRD、SEM及AFM研究了不同退火条件下BaTiO_3薄膜的晶相结构及表面形貌,利用...
关键词：无衬底薄膜 溶胶-凝胶法 牺牲层 介电性能 
二氧化锆掺杂堇青石微晶玻璃的制备与性能研究被引量：2
《电工材料》2017年第1期7-11,15,共6页朱归胜 张秀云 余日光 李瑾瑾 王盼 陈国华 徐华蕊 
中国航天科技集团公司航天科技创新基金资助项目(KJ2014-006);广西科学研究与技术开发计划项目(桂科攻1598007-9);国家自然科学基金项目(61540073);中国博士后科学基金资助项目;广西信息材料重点实验室基金项目(161014-Z)
采用水热合成技术,在220℃的水热温度下反应12 h,并经900℃煅烧,制备了SEM粒径为(100±10)nm、主晶相为α-堇青石、比表面积为11.2 m^2/g的ZrO_2掺杂Mg_2Al_4Si_5O_(18)微晶玻璃粉体。研究了反应浓度与形貌、粒径大小之间的关系,探讨了Z...
关键词：堇青石微晶玻璃 氧化锆掺杂 热膨胀系数 封装性能 
Ag/BaTiO_3薄膜的激光刻蚀电极图案制备及性能研究
《应用激光》2016年第4期428-433,共6页王盼 徐华蕊 朱归胜 李瑾瑾 付振哓 余艾冰 
国家自然科学基金资助项目(项目编号:61540073);中国博士后科学基金资助项目;广西信息材料重点实验室基金资助项目(项目编号:161014-Z);广西科学研究与技术开发计划资助项目(项目编号:桂科攻1598007-9);中国航天科技集团公司航天科技创新基金资助项目(项目编号:KJ2014-006)
采用激光刻蚀实现了BaTiO_3薄膜上溅射Ag金属薄膜电极的图案化,并对激光刻蚀功率、激光刻蚀线间距以及点间距对图案微槽深度、刻蚀边缘整齐度和对底层BaTiO_3的影响进行了研究。结果表明,图案刻蚀边缘整齐度随刻蚀功率先增大后减小,激...
关键词：MLCC 激光刻蚀 图案化 
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