王登

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室更多>>
发文主题：4H-SIC拉曼散射光谱拉曼光谱更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《西北大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：陕西省教育厅科研计划项目更多>>
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4H-SiC同质外延拉曼散射光谱被引量：3
《西北大学学报（自然科学版）》2015年第2期229-232,共4页王守国 柴泾睿 王登 
陕西省教育厅科研计划基金资助项目(12JK0532);西北大学信息科学与技术青年基金项目
在4H-SiC(0001)衬底上,使用CVD法生长不同掺杂浓度的外延层。将不同掺杂浓度的4H-SiC外延层,用拉曼散射光谱进行了研究。使用Matlab拟合了LOPC模的线型,并从理论上计算出载流子浓度,载流子浓度的理论计算值与SIMS测量的结果符合良好。...
关键词：4H-SIC 拉曼光谱 掺杂浓度 LOPC模 
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