毕大鹏

作品数:1被引量:1H指数:1
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供职机构:天津大学电子信息工程学院更多>>
发文主题:磁控溅射晶粒细化金属膜电阻器电阻温度系数器用更多>>
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金属膜电阻器用高阻靶材制备工艺研究被引量:1
《压电与声光》2009年第4期582-584,588,共4页王秀宇 张之圣 白天 刘志刚 毕大鹏 
天津市科技攻关培育基金资助项目(06YFGPX08400)
金属膜电阻器用的靶材是影响膜质量和电阻器性能的重要因素之一,晶粒细化是炼制致密性靶材的关键。晶粒细化不仅有利于Cr-Si靶材内部组织均匀化,且能降低其韧脆转变温度,从而使炼制的靶材强度和硬度高、塑性好,提高靶材的成品率。分析...
关键词:金属膜电阻器 电阻温度系数 磁控溅射 Cr-Si高阻靶材 晶粒细化 
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