朱鸣

作品数：1被引量：1H指数：1
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用smart-cut方法制备GOI材料及研究被引量：1
《功能材料与器件学报》2007年第3期207-212,共6页詹达 马小波 刘卫丽 朱鸣 宋志棠 
研究了氢离子注入后锗表面的剥离情况,观察发现其表面剥离的情况与Si相比有明显不同,H+注入后形成的微气泡层并没有导致Ge表面形成类似砂眼的凹坑,而是整个表层薄膜受H+膨胀压力导致其全部脱落。利用特殊的Ge的清洗工艺,完成了注H+的Ge...
关键词：GOI smart—cut 键合 
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