吴玉山

作品数：3被引量：1H指数：1
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供职机构：中南大学更多>>
发文主题：钽电化学合成MOCVDALDPVD更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《材料导报》《稀有金属材料与工程》《中南大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
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电化学合成5-二乙基胺钽及钽阳极电溶解机理被引量：1
《稀有金属材料与工程》2012年第10期1799-1803,共5页杨建广 吴玉山 杨济豪 陈胜龙 高亮 刘小文 
国家自然科学基金(50804056)
以金属钽板为阳极,不锈钢板为阴极,以四丁基溴化铵为导电剂,在二乙胺体系中直接电化学合成5-二乙基胺钽(Ta[N(C2H5)2]5)。采用红外光谱(FT-IR)、核磁共振(NMR)、差热分析(TG-DTG.)及等离子质谱(ICP-Mass)对5kPa压力下减压蒸馏分离得到Ta...
关键词：电化学合成 5-二乙基胺钽 表征 电溶机理 
“牺牲”阳极法直接电化学合成5-二乙基胺钽
《中南大学学报（自然科学版）》2011年第11期3251-3255,共5页陈胜龙 杨建广 高亮 刘小文 吴玉山 杨济豪 
国家自然科学基金资助项目(50804056;51174237)
采用金属钽板为阳极,不锈钢板为阴极,以四丁基溴化铵为导电剂,溶解到添有某一惰性溶剂AB的二乙胺中电解,直接电化学合成5-二乙基胺钽(PDEAT),研究支持电解质的种类与浓度、电解液的温度、阴阳极距以及槽电压的影响。选取最佳合成条件为...
关键词：电化学合成 5-二乙基胺钽 红外光谱 二乙胺 四丁基溴化铵 
沉积法制备TaN薄膜的研究现状及其应用
《材料导报》2010年第13期20-25,共6页高亮 杨建广 陈胜龙 杨济豪 吴玉山 
国家自然科学基金(50804056);中国博士后基金项目(20080431028)
TaN薄膜是一种重要的高新技术材料,主要介绍了物理气相沉积法(PVD)、金属有机化学气相沉积法(MOCVD)和原子层沉积法(ALD)制备TaN薄膜的工艺技术,评述了它们各自的优缺点。从前驱体的选择方面详细评述了MOCVD法和ALD法制备TaN薄膜的研究...
关键词：PVD MOCVD ALD TaN薄膜 前驱体 
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