杨霏

作品数：1被引量：5H指数：1
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供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
发文主题：晶体质量碳化硅石墨烯更多>>
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外延生长碳化硅-石墨烯薄膜的制备及表征研究被引量：5
《功能材料》2015年第4期4140-4143,共4页张学敏 张立国 钮应喜 鞠涛 李哲 范亚明 杨霏 张泽洪 张宝顺 
中国科学院科研装备研制资助项目(YZ201252);国家电网科技资助项目(SGRI-WD-71-14-004)
石墨烯作为一种碳原子所组成的二维蜂窝状结构晶体，具有诸多优异的特性，从而倍受全世界科学工作者的关注。在碳化硅衬底上外延生长石墨烯是实现石墨烯在微电子领域中应用的最有效途径之一。利用感应加热的高温 CVD 设备，先在4H-SiC ...
关键词：石墨烯 碳化硅 外延生长 晶体质量 
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