刘美玲

作品数：1被引量：5H指数：1
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：超薄非晶硅薄膜金属比接触电阻欧姆接触更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《太阳能学报》更多>>
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金属与超薄非晶硅薄膜的接触特性研究被引量：5
《太阳能学报》2016年第11期2952-2957,共6页刘美玲 俞健 卞剑涛 张丽平 孟凡英 刘正新 
国家高技术研究发展(863)计划(2011AA050501)
研究金属与非晶硅薄膜(a-Si:H)的接触特性,用于晶体硅异质结太阳电池新型电极技术开发。采用等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)技术制备超薄(~10 nm)a-Si:H薄膜,利用真空镀膜技术制作金属电极,采用圆点传输线模型(CDTLM)研究a-Si:H与...
关键词：超薄非晶硅薄膜 欧姆接触 低温退火 比接触电阻 
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