刘卫平

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：中国科学技术大学更多>>
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硼掺杂对金刚石薄膜生长特性的影响被引量：2
《无机材料学报》2005年第5期1270-1274,共5页刘卫平 余庆选 田宇全 廖源 王冠中 方容川 
国家自然科学基金(60176024)中科院知识创新方向性课题(KJCX2-SW-04-02)
采用HFCVD方法制备了掺硼金刚石薄膜,通过扫描电子显微镜和X射线衍射光谱对样品的表面形貌及结构进行了分析.结果表明,随着硼含量的增加,薄膜中晶粒的取向由(100)变为(111),然后趋向于无序化.硼的掺入同样影响到孪晶晶粒的形态及生长因...
关键词：孪晶 HFCVD 硼掺杂 金刚石薄膜 
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