廖源

作品数：16被引量：70H指数：5
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供职机构：中国科学技术大学更多>>
发文主题：金刚石薄膜金刚石薄膜生长光致发光HFCVD更多>>
发文领域：理学一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊：《无机材料学报》《量子电子学报》《发光学报》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金安徽省自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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退火过程对c轴择优取向的ZnO薄膜光学性质的影响被引量：1
《量子电子学报》2010年第2期221-226,共6页谢学武 廖源 张五堂 余庆选 傅竹西 
安徽省自然科学基金(070412034;070414184)资助项目
利用溶胶凝胶法在石英衬底上采用旋涂法制备出ZnO薄膜,通过X射线衍射仪发现不同的退火温度对ZnO薄膜的择优取向有很大影响;通过紫外可见分光光度计和室温发光谱可以看出,制备的薄膜有很好的光学透过性和很强的紫外发光特性,而不同的退...
关键词：材料 溶胶凝胶法 ZNO薄膜 c轴择优取向 退火 
PLD方法在CVD金刚石膜上生长ZnO薄膜及其特性研究被引量：3
《量子电子学报》2008年第2期240-245,共6页张吉明 廖源 张五堂 余庆选 傅竹西 
国家自然科学基金(50532070);安徽省自然科学基金(070412034)资助项目
采用脉冲激光沉积(PLD)技术,在(110)和(100)织构金刚石膜上成功制备出高度c-轴取向的ZnO薄膜,然后在纯氮气氛条件下对ZnO薄膜进行退火处理.作为比较。也在(100)Si上生长的ZnO薄膜进行了相同的处理.通过测量X射线衍射(XRD)谱和光致发光(...
关键词：材料 氧化锌薄膜 脉冲激光沉积法 金刚石 应力 
ZnO：Ag薄膜的结构对其紫外发光增强的研究被引量：5
《量子电子学报》2008年第1期43-48,共6页金运姜 余庆选 刘书见 廖源 
安徽省自然科学基金(070414183)
利用脉冲激光沉积方法(PLD),在Si(100)衬底上生长了银掺杂的氧化锌薄膜(ZnO:Ag),所用的激光波长分别是1064 nm和355 nm。通过X射线衍射分析发现,两种不同激光沉积样品的晶体结构有很大的区别。此外,由1064 nm激光制备的ZnO:Ag薄膜,在氧...
关键词：薄膜光学 氧化锌 光致发光 局部等离子共振 
硼掺杂对金刚石薄膜生长特性的影响被引量：2
《无机材料学报》2005年第5期1270-1274,共5页刘卫平 余庆选 田宇全 廖源 王冠中 方容川 
国家自然科学基金(60176024)中科院知识创新方向性课题(KJCX2-SW-04-02)
采用HFCVD方法制备了掺硼金刚石薄膜,通过扫描电子显微镜和X射线衍射光谱对样品的表面形貌及结构进行了分析.结果表明,随着硼含量的增加,薄膜中晶粒的取向由(100)变为(111),然后趋向于无序化.硼的掺入同样影响到孪晶晶粒的形态及生长因...
关键词：孪晶 HFCVD 硼掺杂 金刚石薄膜 
热丝CVD生长SiCN薄膜的研究被引量：11
《无机材料学报》2004年第2期397-403,共7页牛晓滨 廖源 常超 余庆选 方容川 
国家自然科学基金(60176024);安徽省自然科学基金(01044701)
在HFCVD系统中采用SiH4/CH4/H2/N2混合气体成功的制备了SiCN薄膜.SEM照片显示制备的SiCN薄膜由棒状结构构成,而在HRTEM下发现这些棒状结构是由生长在无定型SiCN基体当中的纳米晶粒组成的.进一步的SAED和XRD分析说明SiCN纳米晶粒具有类...
关键词：HFCVD SiCN薄膜 α-Si3N4 化学气相沉积 纳米晶粒 薄膜生长 
C-H-O和C-H-N体系生长金刚石膜的气相化学模拟被引量：2
《无机材料学报》2004年第2期404-410,共7页戚学贵 陈则韶 王冠中 廖源 
国家自然科学基金(59976083)
数值模拟了C-H-O和C-H-N体系的气相化学,构建了含氧和含氮气源化学气相沉积金刚石膜的三元相图,探讨了加氧和加氮影响金刚石膜生长的途径.结果表明,甲基是金刚石生长主要的前驱基团,乙炔导致非金刚石碳沉积,原子氢刻蚀非金刚石碳.通过...
关键词：化学气相沉积 金刚石膜 气相化学 相图 数值模拟 C-H-O体系 C-H-N体系 薄膜生长 
脉冲激光淀积MgF_2薄膜的制备及性质研究被引量：7
《量子电子学报》2004年第1期48-50,共3页于琳 韩新海 王冠中 揭建胜 廖源 余庆选 方容川 
国家自然科学基金资助项目(59976038)
本文采用脉冲激光淀积方法(PLD)制备了MgF2光学薄膜,并对其表面形貌以及光学性质进行了测试分析, X射线光电子能谱分析显示MgF2样品具有很好的化学组分配比, F/Mg原子比在1.9-2.1之间,接近于体材料;在可见光波段其光学透过率为60％-80％...
关键词：脉冲激光淀积 MgF2薄膜 折射率 透过率 薄膜光学 
应力和掺杂对Mg:GaN薄膜光致发光光谱影响的研究被引量：14
《物理学报》2004年第1期204-209,共6页徐波 余庆选 吴气虹 廖源 王冠中 方容川 
国家自然科学基金 (批准号 :60 1760 2 4);安徽省自然科学基金 (批准号 :0 10 44 70 1)资助的课题~~
对化学气相沉积 (MOCVD)法在宝石衬底上生长的Mg掺杂GaN薄膜的表面及其GaN缓冲层的光致发光 (PL)光谱进行了测量 ,用Raman光谱和x射线衍射 (XRD)对GaN薄膜中的应力进行确定 ,通过PL光谱中的中性束缚激子跃迁能量的变化确定薄膜中应力的...
关键词：应力 镁掺杂 氮化镓薄膜 光致发光 化学气相沉积 拉曼光谱 激子跃迁能量 发光二极管 
HFCVD金刚石膜过程的气氛模拟与分析被引量：2
《无机材料学报》2003年第1期200-206,共7页戚学贵 陈则韶 常超 王冠中 廖源 
国家自然科学基金(59976038)
对热丝法化学气相沉积金刚石膜过程的气氛进行了模拟与分析.使用GRI-Mech3.0甲烷燃烧过程C/H/O/N四元体系热化学反应机理和动力学数据,模拟并分析了HFCVD金刚石膜的C/H气相化学反应,通过对反应流的简单模拟得到了衬底位置气相组成,结果...
关键词：HFCVD 气氛模拟 热丝法化学气相沉积 金刚石膜 气相化学 前驱基团 成膜过程 
氮气氛下金刚石薄膜生长过程中的光发射谱研究被引量：4
《无机材料学报》2001年第1期81-86,共6页李灿华 廖源 常超 王冠中 马玉蓉 方容川 
八六三计划新材料领域资助项目!(715-002-0032);国家自然科学基金资助!项目(59771022)
利用原位光发射谱对衬底附近的化学气相性质进行了研究．研究表明，氮气的引入使得金刚石生长的气相化学和表面化学性质发生了很大变化．含氮基团的萃取作用提高了金刚石表面氢原子的脱附速率，从而提高了金刚石膜的生长速率．而含氮基...
关键词：热丝CVD 光发射谱 含氮基团 金刚石薄膜生长 
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