张吉明

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：中国科学技术大学更多>>
发文主题：氧化锌薄膜ZNO薄膜CVD金刚石膜金刚石脉冲激光沉积法更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《量子电子学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金安徽省自然科学基金更多>>
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PLD方法在CVD金刚石膜上生长ZnO薄膜及其特性研究被引量：3
《量子电子学报》2008年第2期240-245,共6页张吉明 廖源 张五堂 余庆选 傅竹西 
国家自然科学基金(50532070);安徽省自然科学基金(070412034)资助项目
采用脉冲激光沉积(PLD)技术,在(110)和(100)织构金刚石膜上成功制备出高度c-轴取向的ZnO薄膜,然后在纯氮气氛条件下对ZnO薄膜进行退火处理.作为比较。也在(100)Si上生长的ZnO薄膜进行了相同的处理.通过测量X射线衍射(XRD)谱和光致发光(...
关键词：材料 氧化锌薄膜 脉冲激光沉积法 金刚石 应力 
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