牛晓滨

作品数：2被引量：12H指数：1
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供职机构：中国科学技术大学化学与材料科学学院中国科学院结构分析重点实验室更多>>
发文主题：CVD生长薄膜生长HFCVD化学气相沉积纳米晶粒更多>>
发文领域：理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《无机材料学报》《材料导报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金安徽省自然科学基金更多>>
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热丝CVD生长SiCN薄膜的研究被引量：11
《无机材料学报》2004年第2期397-403,共7页牛晓滨 廖源 常超 余庆选 方容川 
国家自然科学基金(60176024);安徽省自然科学基金(01044701)
在HFCVD系统中采用SiH4/CH4/H2/N2混合气体成功的制备了SiCN薄膜.SEM照片显示制备的SiCN薄膜由棒状结构构成,而在HRTEM下发现这些棒状结构是由生长在无定型SiCN基体当中的纳米晶粒组成的.进一步的SAED和XRD分析说明SiCN纳米晶粒具有类...
关键词：HFCVD SiCN薄膜 α-Si3N4 化学气相沉积 纳米晶粒 薄膜生长 
计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统的研制与应用被引量：1
《材料导报》2001年第1期74-76,共3页方容川 常超 廖源 叶祉渊 薛剑耿 王冠中 马玉蓉 尚乃贵 牛晓滨 王代冕 吴气虹 揭建胜 
在863"九五”计划期间,我们研制成功"计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统”,并用此设备在无人值守的情况下,生长出毫米级金刚石和金刚石/硅碳氮多层膜,证明该设备安全可靠,性能优良.
关键词：金刚石薄膜 计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统 应用 膜生长 
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