叶祉渊

作品数:2被引量:8H指数:1
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供职机构:中国科学技术大学更多>>
发文主题:金刚石薄膜光热偏转采集器反射镜光阑更多>>
发文领域:理学一般工业技术机械工程更多>>
发文期刊:《物理学报》《材料导报》更多>>
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计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统的研制与应用被引量:1
《材料导报》2001年第1期74-76,共3页方容川 常超 廖源 叶祉渊 薛剑耿 王冠中 马玉蓉 尚乃贵 牛晓滨 王代冕 吴气虹 揭建胜 
在863"九五”计划期间,我们研制成功"计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统”,并用此设备在无人值守的情况下,生长出毫米级金刚石和金刚石/硅碳氮多层膜,证明该设备安全可靠,性能优良.
关键词:金刚石薄膜 计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统 应用 膜生长 
金刚石薄膜在多晶铜和磷脱氧铜基片上的生长被引量:7
《物理学报》1998年第4期686-691,共6页韩祀瑾 陈金松 方容川 尚乃贵 邵庆益 乐德芬 廖源 叶祉渊 易波 崔景彪 
国家自然科学基金
分别采用99.99%的多晶铜片和99.95%的磷脱氧铜片作为沉积金刚石薄膜的基片,通过热丝化学汽相沉积法在两种基片上都获得了大面积、自支撑的多晶金刚石膜.使用高分辨率光学显微镜、扫描电子显微镜、Raman光谱和X射线...
关键词:多晶铜 磷脱氧铜 金刚石 薄膜生长 
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