计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统的研制与应用  

Computer Programming Controlled CVD Diamond Growth System and Application

作　　者：方容川[1] 常超[1] 廖源[1] 叶祉渊[1] 薛剑耿[1] 王冠中[1] 马玉蓉[1] 尚乃贵[1] 牛晓滨[1] 王代冕[1] 吴气虹[1] 揭建胜[1] 

机构地区：[1]中国科学技术大学物理系,合肥230026

出　　处：《材料导报》2001年第1期74-76,共3页Materials Reports

摘　　要：在863"九五”计划期间,我们研制成功"计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统”,并用此设备在无人值守的情况下,生长出毫米级金刚石和金刚石/硅碳氮多层膜,证明该设备安全可靠,性能优良.

关 键 词：金刚石薄膜 计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统 应用 膜生长 

分 类 号：TB43[一般工业技术] O484.1[理学—固体物理]