王代冕

作品数：1被引量：1H指数：1
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计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统的研制与应用被引量：1
《材料导报》2001年第1期74-76,共3页方容川 常超 廖源 叶祉渊 薛剑耿 王冠中 马玉蓉 尚乃贵 牛晓滨 王代冕 吴气虹 揭建胜 
在863"九五”计划期间,我们研制成功"计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统”,并用此设备在无人值守的情况下,生长出毫米级金刚石和金刚石/硅碳氮多层膜,证明该设备安全可靠,性能优良.
关键词：金刚石薄膜 计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统 应用 膜生长 
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