尚乃贵

作品数:4被引量:8H指数:1
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供职机构:香港城市大学更多>>
发文主题:金刚石薄膜纳米薄膜材料显微结构碳片薄膜生长更多>>
发文领域:一般工业技术理学更多>>
发文期刊:《无机材料学报》《物理学报》《材料导报》《电子显微学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金更多>>
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碳片组成的纳米薄膜材料显微结构研究
《电子显微学报》2002年第5期613-614,共2页孟祥敏 尚乃贵 李振声 I.Bello 李述汤 
关键词:纳米薄膜材料 显微结构 碳纳米材料 扫描电子显微镜 SEM 
计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统的研制与应用被引量:1
《材料导报》2001年第1期74-76,共3页方容川 常超 廖源 叶祉渊 薛剑耿 王冠中 马玉蓉 尚乃贵 牛晓滨 王代冕 吴气虹 揭建胜 
在863"九五”计划期间,我们研制成功"计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统”,并用此设备在无人值守的情况下,生长出毫米级金刚石和金刚石/硅碳氮多层膜,证明该设备安全可靠,性能优良.
关键词:金刚石薄膜 计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统 应用 膜生长 
原位光发射谱研究横向偏压金刚石薄膜生长过程
《无机材料学报》2000年第6期1061-1066,共6页廖源 尚乃贵 李灿华 王冠中 马玉蓉 方容川 
国家自然科学基金项目资助课题
利用热丝CVD方法研究了横向偏压对金刚石薄膜成核和生长的影响.实验表明,随着偏流的增加,金刚石在光滑硅衬底上的成核密度得到显著提高,最高可达 1.1×108cm-2.,但是横向偏压不利于金刚石薄膜的生长.原位光发射谱...
关键词:金刚石薄膜 横向偏压 原位光发射谱 非晶碳层 
金刚石薄膜在多晶铜和磷脱氧铜基片上的生长被引量:7
《物理学报》1998年第4期686-691,共6页韩祀瑾 陈金松 方容川 尚乃贵 邵庆益 乐德芬 廖源 叶祉渊 易波 崔景彪 
国家自然科学基金
分别采用99.99%的多晶铜片和99.95%的磷脱氧铜片作为沉积金刚石薄膜的基片,通过热丝化学汽相沉积法在两种基片上都获得了大面积、自支撑的多晶金刚石膜.使用高分辨率光学显微镜、扫描电子显微镜、Raman光谱和X射线...
关键词:多晶铜 磷脱氧铜 金刚石 薄膜生长 
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