高宝龙

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：新疆大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题：AL2O3薄膜X射线光电子能谱XPS分析SI结构PLD更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
发文期刊：《核电子学与探测技术》《半导体技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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原位XPS分析Al_2O_3作为势垒层的Er_2O_3/Si结构被引量：2
《半导体技术》2017年第5期394-399,共6页高宝龙 买买提热夏提.买买提 亚森江.吾甫尔 阿布都艾则孜.阿布来提 
国家自然科学基金资助项目(61366001;61464010;61604126)
在超高真空条件下,通过脉冲激光沉积(PLD)技术制作了Er_2O_3/Al_2O_3/Si多层薄膜结构,原位条件下利用X射线光电子能谱(XPS)研究了Al_2O_3作为势垒层的Er_2O_3与Si界面的电子结构。XPS结果表明,Al_2O_3中Al的2p芯能级峰在低、高温退火前...
关键词：脉冲激光沉积(PLD)技术 Er2O3薄膜 AL2O3薄膜 X射线光电子能谱(XPS) 高K材料 
原位光电子能谱研究La_2O_3/LaAlO_3/Si电子结构
《核电子学与探测技术》2016年第11期1094-1098,共5页高宝龙 买买提热夏提.买买提 亚森江.吾甫尔 阿布都艾则孜.阿布来提 
国家自然科学基金(61366001;61464010;61604126)资助
在超高真空条件下,通过脉冲激光技术沉积La_2O_3/LaAlO_3/Si多层膜结构,原位条件下利用同步辐射光电子能谱研究了LaAlO_3作为势垒层的La_2O_3与Si的界面电子结构。实验结果显示,LaAlO_3中Al的2p峰在沉积和退火前后没有变化;衬底硅的芯...
关键词：脉冲激沉积 LA2O3 LAALO3 光电子能谱 
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