郭泰

作品数：1被引量：3H指数：1
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发文主题：SU-8胶SU-8被动式微型阀微流控更多>>
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基于SU-8胶的新型被动式微型阀被引量：3
《光学精密工程》2013年第4期1011-1016,共6页张丛春 郭泰 丁桂甫 
教育部创新基金资助项目(No.708037);上海市创新平台资助项目(No.11DZ2290)
为了在微流体控制系统中实现对流体流速的控制和流体的单向流动,借鉴人体心脏瓣膜的结构,设计了新型被动式微阀。选用SU-8作为被动式微型阀的结构材料,用ANSYS仿真了不同厚度(10,15,20μm)的阀门膜片在不同压力作用下的挠度与应力,进而...
关键词：微电机系统 微流控 被动式微阀 SU-8 
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